Raccolta di Tecnologie e competenze ENEA
Atomic Layer Deposition (ALD)
Laboratorio ALD
Settori applicativi
Problema da risolvere
L'impianto mira a risolvere principalmente problematiche legate alla necessità di proteggere le superfici e l'integrità di materiali strutturali tramite la apposizione di rivestimenti inorganici protettivi (es. corrosione da liquidi aggressivi, erosione, isolamento elettrico e/o termico, permeazione di gas...). Potenziali fruitori sono aziende produttrici di materiali e componenti destinati ad applicazioni in ambienti severi in cui sia necessario preservarne le proprietà e garantire determinate prestazioni.
Descrizione
L'impianto è composto da una camera di deposizione servita da due forni che alimentano i reagenti necessari alla sintesi superficiale del coating, da un pompa per l'instaurazione del vuoto necessario al processo e da PC con software di controllo del sistema PLC. La camera di deposizione ha dimensioni 300x300x200 mm interamente disponibile all'alloggiamento di materiali e componenti su cui realizzare il coating.
Aspetti innovativi e vantaggi
- Controllo fine dello spessore finale
- Deposizione di coating ubiquitaria su ogni superficie sia interna che esterne dei componenti
- Facilità di upscale di processo
- Ridotta quantità di materiali necessario per ottenere il coating
Possibili applicazioni
- Coating funzionali protettivi
Gruppo di ricerca coinvolto
Data di aggiornamento
11-06-2025
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